Ujian Wafer

Dibina berdasarkan kepakaran Deaote selama 15+ tahun dalam pembuatan acuan ketepatan dan pembuatan komponen gerakan, ujian wafer menampilkan asas granit tegar, struktur yang distabilkan secara haba dan reka bentuk anti-getaran untuk memastikan prestasi yang konsisten dalam persekitaran bilik bersih (Kelas 100/1000). Ia menyokong penyepaduan lancar dengan prober wafer, mikroskop optik, sistem ATE (Peralatan Ujian Automatik) dan alat pemerolehan data, menjadikannya ideal untuk kedua-dua R&D dan ujian pengeluaran volum tinggi bagi cip logik, peranti memori, semikonduktor kuasa dan semikonduktor kompaun (GaAs, SiC, GaN).

Reka bentuk modular ujian wafer membolehkan penyesuaian penuh julat perjalanan, parameter kelajuan/pecutan dan antara muka kawalan (GPIB, USB, Ethernet) untuk memadankan aliran kerja ujian wafer tertentu. Penyelesaian kami membolehkan pengeluar semikonduktor mencapai ketepatan ujian yang lebih tinggi, mengurangkan kadar kegagalan palsu dan meningkatkan daya pemprosesan—penting untuk memenuhi permintaan pengecilan dan prestasi peranti semikonduktor generasi akan datang.

Kelebihan Teras

1. Ketepatan Penjajaran 4-Paksi Sub-Mikron

Dilengkapi dengan pengekod linear resolusi tinggi (resolusi 0.05μm) dan motor tork pemacu terus untuk paksi Theta, platform ini mencapai ketepatan kedudukan ulangan ±0.5μm (X/Y), ketepatan mutlak ±1μm (X/Y), ketepatan kedudukan paksi-Z ±2μm dan sudut ketepatan paksi Theta 0.001° Ini memastikan penjajaran tepat antara cetakan wafer dan probe ujian/optik pemeriksaan, menghapuskan ralat yang disebabkan oleh salah jajaran dalam pencirian elektrik dan pemeriksaan optik.

2. Kawalan Pergerakan Kelajuan Tinggi & Stabil

Algoritma kawalan gerakan yang dioptimumkan dan laluan panduan galas udara membolehkan pergerakan berkelajuan tinggi (kelajuan maksimum X/Y: 150mm/s, kelajuan maksimum paksi Z: 50mm/s) dengan masa penyelesaian ultra rendah (≤30ms untuk X/Y, ≤50ms untuk Z). Mekanisme pemacu tanpa sentuh menghapuskan haus mekanikal dan tindak balas, memastikan kestabilan gerakan yang konsisten sepanjang berjuta-juta kitaran—penting untuk ujian wafer pemprosesan tinggi (sehingga 2500 mati sejam).

3. Reka Bentuk Stabil Terma & Anti-Getaran

Dibina dengan asas granit semulajadi (pekali pengembangan terma ≤0.5×10⁻⁶/℃) dan sistem pengasingan anti-getaran yang aktif, platform ini meminimumkan hanyutan kedudukan yang disebabkan oleh turun naik suhu (≤0.1μm/℃) dan getaran luaran. Paksi-Z menampilkan pemacu skru bola ketepatan dengan pampasan pramuat untuk mengekalkan kestabilan semasa kedudukan menegak, kritikal untuk kawalan daya sentuhan probe (0.1g hingga 100g) dalam ujian wafer.

4. Keserasian & Fleksibiliti Wafer Lebar

Ujian wafer menyokong saiz wafer daripada 4-inci hingga 12-inci dengan penyeluk vakum boleh laras dan mekanisme pemusatan automatik, tidak memerlukan penggantian lekapan tersuai. Ia menampung ketebalan wafer dari 50μm hingga 800μm dan serasi dengan wafer kosong, wafer bercorak, dan pakej tahap wafer (WLP), menyesuaikan diri dengan keperluan ujian semikonduktor yang pelbagai (ujian parametrik DC, ujian RF, pemeriksaan optik).

5. Bilik Bersih-Serasi & Penyelenggaraan Rendah

Direka bentuk untuk operasi bilik bersih Kelas 100, ujian wafer mempunyai penutup tertutup dengan penapisan HEPA untuk mengelakkan pencemaran zarah wafer dan peralatan ujian. Gred perlindungan IP54 dan komponen galas udara bebas pelinciran mengurangkan keperluan penyelenggaraan, memanjangkan MTBF (Masa Min Antara Kegagalan) kepada ≥35,000 jam di bawah keadaan operasi standard.

6. Penyepaduan & Penyesuaian Mudah

Serasi dengan perisian kawalan standard industri dan protokol komunikasi (GPIB, RS232, Ethernet/IP), platform ini disepadukan dengan lancar dengan sistem ujian wafer sedia ada. Suzhou Deoute menawarkan penyesuaian penuh julat perjalanan (X/Y: 100×100mm hingga 300×300mm; Z: 50mm hingga 150mm), julat putaran paksi Theta (±5° hingga ±10°), dan kawalan suhu chuck (-40℃ hingga 200℃) untuk memenuhi keperluan pelanggan yang unik.

Spesifikasi Teknikal

Senario Aplikasi

Dicipta untuk ujian dan pemeriksaan wafer 4 paksi, platform XYZT kami digunakan secara meluas dalam aplikasi semikonduktor berikut:

● Wafer Probing: Pencirian elektrik (DC/AC/RF) cip logik, peranti memori DRAM/NAND dan semikonduktor kuasa (MOSFET, IGBT)

● Pemeriksaan Optik: Pengesanan kecacatan tahap wafer, penjajaran corak dan metrologi untuk pembuatan semikonduktor lanjutan

● Ujian Kebolehpercayaan: Berbasikal suhu tinggi/rendah, ujian burn-in dan pencirian seumur hidup bagi semikonduktor kompaun (GaAs, SiC, GaN)

● Pembungkusan Tahap Wafer (WLP): Penjajaran dan ikatan pakej peringkat wafer untuk aplikasi elektronik pengguna dan automotif

● Ujian R&D: Prototaip dan pengesahan reka bentuk semikonduktor baharu dalam persekitaran makmal (boleh disesuaikan untuk ujian kumpulan kecil)

Mengenai Deaote

Suzhou Deaote Precision Mould Co., Ltd. ialah perusahaan teknologi tinggi terkemuka yang mengkhusus dalam R&D, pembuatan dan penjualan platform gerakan ketepatan, acuan tersuai dan komponen ujian semikonduktor. Dengan lebih 15 tahun kepakaran dalam pembuatan ketepatan, kami memberi perkhidmatan kepada pelanggan global dalam sektor semikonduktor, elektronik dan automasi industri di seluruh Eropah, Amerika Utara, Asia dan seterusnya.

Platform gerakan pemeriksaan XYZT kami memanfaatkan kecekapan teras kami dalam reka bentuk acuan ketepatan dan kejuruteraan kawalan gerakan untuk menangani cabaran unik ujian wafer semikonduktor. Kami menyediakan penyelesaian hujung ke hujung—daripada reka bentuk platform tersuai dan prototaip kepada pemasangan di tapak, penentukuran dan sokongan teknikal sepanjang hayat—memastikan produk kami memenuhi piawaian industri yang paling ketat untuk ketepatan dan kebolehpercayaan.

Komited untuk "Ketepatan Memacu Kemajuan, Inovasi Mencipta Nilai", Deaote diperakui ISO 9001:2015 dan melabur 15% daripada hasil tahunan dalam R&D untuk membangunkan penyelesaian gerakan generasi akan datang untuk industri semikonduktor. Rangkaian perkhidmatan global kami memastikan masa tindak balas yang cepat dan sokongan tempatan untuk pelanggan antarabangsa kami.