Modul Motor Linear Marmar Dwi Paksi

Dibina di atas tapak granit gred 00 (dipilih untuk pekali pengembangan haba yang rendah dan sifat redaman getaran), modul motor linear marmar Dwi paksi ini menyepadukan dua paksi motor linear berprestasi tinggi dengan panduan galas udara untuk menyampaikan ketepatan ulangan ±0.5μm—sesuai untuk litografi semikonduktor, pemesinan laser ketepatan, dan sistem metrospeksi optik.

Direka bentuk untuk menangani had peringkat dwi paksi berasaskan aluminium atau keluli (hanyut terma, getaran, ketegaran rendah), modul motor linear marmar Dwi paksi kami menghapuskan ubah bentuk mekanikal di bawah gerakan berkelajuan tinggi (sehingga 2m/s setiap paksi) dan mengekalkan ketepatan yang konsisten merentas suhu operasi (-10 ℃ hingga 40 ℃). Sistem kawalan segerak paksi X-Y (berasaskan EtherCAT) membolehkan penyegerakan gerakan peringkat nanometer, kritikal untuk proses ultra-ketepatan seperti pembungkusan cip 7nm, fabrikasi komponen mikro-optik dan pengukuran 3D lanjutan.

Dikilangkan di bawah piawaian kualiti optik ISO 9001:2015 dan ISO 10110, modul motor linear marmar Dwi paksi menampilkan sistem pengurusan kabel tertutup, salutan anti-statik dan pilihan serasi vakum (untuk kegunaan bilik bersih semikonduktor). Serasi dengan pengawal gerakan peneraju industri (Aerotech, PI, Newport) dan sistem metrologi (interferometer laser Renishaw), ia disepadukan dengan lancar ke dalam barisan pembuatan ultra ketepatan, meningkatkan hasil proses sehingga 20% berbanding peringkat dwi paksi asas logam konvensional.

Siri Produk

Siri DT-GM-DX1 (Ketepatan Padat)

Julat perjalanan X-Y: 100×100mm hingga 500×500mm, ketepatan ulangan ±0.5μm, kelajuan maksimum 1m/s setiap paksi. Ideal untuk pemesinan komponen mikro-optik, metrologi ketepatan, pembungkusan semikonduktor format kecil.

Siri DT-GM-DX2 (Kelajuan Tinggi Julat Pertengahan)

Julat perjalanan X-Y: 500×500mm hingga 1000×1000mm, ketepatan ulangan ±1μm, kelajuan maksimum 2m/s setiap paksi. Sesuai untuk pemesinan mikro laser, pembaikan panel LCD, pemeriksaan optik format sederhana.

Siri DT-GM-DX-VAC (Serasi Vakum)

Julat perjalanan X-Y: 100×100mm hingga 800×800mm, ±0.5μm ketepatan ulangan, rating vakum 10⁻⁶ mbar. Direka untuk aplikasi bilik bersih semikonduktor, salutan vakum dan sistem simulasi ruang.

Kelebihan Teras

1. Pangkalan Granit Gred 00 untuk Kestabilan Tiada Tandingan

Dibina daripada granit 00 gred semula jadi (pekali pengembangan terma ≤0.5×10⁻⁶/℃), asasnya memberikan kestabilan terma yang luar biasa (≤0.001mm/℃) dan redaman getaran (melemahkan 80% getaran frekuensi tinggi). Ini menghapuskan hanyutan terma dan resonans mekanikal—isu biasa dengan peringkat berasaskan logam—dalam proses pembuatan ultra ketepatan.

2. Ketepatan Sub-Mikron dengan Panduan Galas Udara

Panduan linear galas udara bersepadu (bukan galas bola tradisional) menghilangkan geseran dan haus, mencapai ketepatan kedudukan ulangan ±0.5μm dan resolusi 1nm (melalui pengekod mutlak Renishaw). Reka bentuk bukan sentuhan memastikan operasi bebas penyelenggaraan lebih daripada 100 juta kitaran, kritikal untuk pengeluaran ultra ketepatan volum tinggi.

3. Kawalan Pergerakan Segerak Paksi X-Y

Kawalan gerakan masa nyata berasaskan EtherCAT membolehkan penyegerakan peringkat nanometer antara paksi X dan Y (ralat penyegerakan ≤50nm), menyokong profil gerakan kompleks (interpolasi bulat, pengimbasan lingkaran) yang diperlukan untuk pemesinan mikro laser dan corak optik. Seni bina terbuka serasi dengan perisian gerakan pihak ketiga (LabVIEW, MATLAB).

4. Ketegaran Tinggi & Ubah Bentuk Rendah

Struktur granit bertetulang dengan rusuk bersepadu memberikan ketegaran ≥300N/μm, meminimumkan pesongan di bawah beban dinamik (sehingga 50kg setiap paksi). Kestabilan ini memastikan ketepatan yang konsisten walaupun semasa pecutan berkelajuan tinggi (1g), mengurangkan variasi proses dan meningkatkan hasil produk.

5. Boleh disesuaikan untuk Aplikasi Ultra-Ketepatan

Penyesuaian penuh julat perjalanan (100×100mm hingga 1000×1000mm), resolusi pengekod (1nm hingga 1μm), keserasian vakum (10⁻³ hingga 10⁻⁶ mbar), dan kemasan permukaan (Ra ≤0.02μm). Ciri pilihan termasuk salutan anti statik, bahan serasi bilik bersih dan interferometri laser bersepadu untuk penentukuran in-situ.

6. Kebolehpercayaan Gred Perindustrian untuk Penggunaan Bilik Bersih

Gred perlindungan IP67 (standard) / IP68 (versi vakum), salutan anti-statik (10⁶-10⁹ Ω/sq), dan pelepasan zarah rendah (mematuhi bilik bersih Kelas 1) menjadikannya sesuai untuk fabrik semikonduktor dan bilik bersih pembuatan optik. MTBF ≥40,000 jam di bawah operasi berterusan, mengurangkan jumlah kos pemilikan (TCO) sebanyak 30% dalam tempoh 5 tahun.

Spesifikasi Teknikal

Pangkalan Granit (Gred 00)±0.5μm Ketepatan Kedudukan Ulangan Paksi X-Y Pergerakan Segerak Kestabilan Terma (≤0.001mm/℃)Ketegaran Tinggi (≥300N/μm)

Senario Aplikasi

Modul motor linear marmar dwi paksi Deaote direka bentuk untuk pembuatan ultra ketepatan merentas sektor teknologi tinggi global:

● Semikonduktor & Mikroelektronik: Pembungkusan cip 7nm/5nm, pemeriksaan wafer, penjajaran litografi, fabrikasi peranti MEMS

● Pembuatan Optik: Pemesinan komponen mikro-optik (kanta, prisma), pemasangan susunan gentian optik, pencorak laser substrat kaca

● Precision Metrology: Pengukuran optik 3D, peringkat gerakan mesin pengukur koordinat (CMM), pemprofilan permukaan aras nanometer

● Pemesinan Mikro Laser: Ablasi laser, penggerudian mikro, ukiran ketepatan bahan keras (silikon, nilam, seramik)

● Aeroangkasa & Pertahanan: Pembuatan penderia mikro, penentukuran komponen navigasi inersia, pemasangan sistem optik satelit

Mengenai Deaote

Suzhou Deaote Precision Mould Co., Ltd. ialah perusahaan berteknologi tinggi terkemuka yang mengkhusus dalam R&D, pembuatan dan penjualan komponen gerakan ultra ketepatan—dengan tumpuan pada modul motor linear berasaskan granit untuk pasaran semikonduktor, optik dan aeroangkasa global. Dengan lebih 15 tahun kepakaran dalam acuan ketepatan dan reka bentuk sistem gerakan ultra ketepatan, kami memberi perkhidmatan kepada pelanggan di seluruh Eropah, Amerika Utara, Jepun dan Korea dalam sektor pembuatan mewah.

Modul motor linear marmar dwi paksi kami dibangunkan dalam makmal R&D gerakan ultra ketepatan khusus kami, memanfaatkan pemesinan granit termaju (toleransi ±0.001mm), penentukuran laser dan teknologi pemasangan galas udara untuk mencapai ketepatan sub-mikron. Kami menyediakan perkhidmatan penyesuaian hujung ke hujung—daripada reka bentuk modul dan prototaip kepada penentukuran di tapak dan sokongan teknikal global—memastikan penyelesaian kami memenuhi keperluan unik barisan pembuatan ultra ketepatan.

Komited kepada "Ketepatan pada Tahap Nanometer, Kestabilan Sepanjang Hayat", Deaote melaburkan 20% hasil tahunan dalam R&D untuk membangunkan penyelesaian gerakan ultra-ketepatan generasi akan datang. Kemudahan pengeluaran dan rangkaian perkhidmatan global yang diperakui ISO 9001:2015 dan ISO 10110 kami memastikan masa tindak balas yang cepat (≤48 jam) dan sokongan teknikal tempatan, menjadikan kami rakan kongsi yang dipercayai untuk pengeluar peralatan ultra ketepatan tinggi di seluruh dunia.